レーザエリプソメータ

　レーザエリプソメータについて

弊社はガートナサイエンティフィック社とは会社設立の以前よりパートナシップを保っています。
納入実績はワールドワイドで2100セット以上、日本国内で500セット以上の納入台数が有ります。
ストークス方式を採用することによって高速測定、高精度及び、高再現性を実現。また、測定時の可動部分が無いためメンテナンスフリーを実現。

単波長ストークス型エリプソメータ	He-Neレーザ λ＝632.8nm
多波長型ストークス型エリプソメータ	He-Neレーザの他に１～２波長の追加が可能。３７５，４０５，４８８，５４４，８３０nm以外も対応化
多彩はオプション	・オートステージ(WS) ・オートフォーカス(AF) ・オートチルト(AT) ・ウェハー自動搬送(WH) ・マイクロスポット(MS) ・サンプルステージは最大２０インチ　更なる大口径も可能・各種安全対策・標準膜厚ウェハー(STD) ・日本国内でソフト開発
その他	ユーザ仕様にシステムアップ
アップグレードについて	・制御コントローラを旧タイプより現状のコントローラに変更する事は可能です。・手動ステージからオートステージにアップグレードも可能。・オートフォーカス＆オートチルトへのアップグレードも可能。・その他