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| レーザエリプソメータ |
| Model:LSE |
ストークスエリプソメータ
入射角７０°固定
ステージが手動タイプ |
| Model:LSE-WS |
ストークスウェハースキャンエリプソメータ
入射角７０°固定
ウェハーの多点を自動で測定が可能
３００ｍｍタイプまで対応可能 |
| オプション |
測定波長の追加
- L2W405 405nm青色レーザ追加
- L2W544 544nmグリーンレーザ追加
- L2W830 830nm近赤外半導体レーザ追加
- L3W405.544 405nm青色レーザ＆544nmグリーンレーザ追加
- L3W405.830 405nm青色レーザ＆830nm半導体レーザ追加
- L3W544.830 544nm青色レーザ＆830nm半導体レーザ追加
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弊社開発品
- AF: オートフォーカス
- AT: オートチルト
- AF/AT: オートフォーカス＆オートチルト
- WH: ウェーハー自動搬送システム（〜８インチ＆３００ｍｍタイプ）
- TFW-50： 干渉膜厚計
- ＭＩ−ＬＩＮＫ 統合型制御プログラム
- 上位通信
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標準ウェハー（NIST準拠）
- L118SW-100 SiO2 10nm/Si
- L118SW-500 SiO2 50nm/Si
- L118SW-900 SiO2 90nm/Si
- L118SW-2000 SiO2 200nm/Si
- 上記サンプルの再キャリブレーションも承ります。
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| Ｌ１１６Ｓ |
入射角可変ストークスエリプソメータ
（ 45o, 50o, 55o, 60o, 65o, 70o, 75o, 80o, 90o）
３００ｍｍタイプまで対応可能 |
| Ｌ１１５Ｓ |
入射角可変ストークスウェハースキャンエリプソメータ
（ 45o, 50o, 55o, 60o, 65o, 70o, 75o, 80o, 90o）
３００ｍｍタイプまで対応可能 |
Ｌ１１６−ＷＩＮ ＆
Ｌ１１５−ＷＩＮ |
Ｗｉｎｄｏｗｓタイプへのアップグレード
ＯＳはＷｉｎｄｏｗｓＸＰ，ＶＩＳＴＡ，７ |
| ＬＭタイプ |
弊社が開発したシステム |
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